釹鐵硼磁鐵電鍍層分析儀 1.*的EFP算法：多層多元素、各種元素及有機(jī)物，甚至有同種元素在不同層也可測量。 2.上照式設(shè)計：實(shí)現(xiàn)可對超大工件進(jìn)行快、準(zhǔn)、穩(wěn)高效率測量。 3.自動對焦：高低大小樣品可快速清晰對焦。 4.變焦裝置算法：可對大90mm深度的凹槽高低落差件直接檢測。 5.小面積測量：小測量面積0.002mm2 6.大行程移動平臺：手動XY滑臺100*
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第11年
